PVD制程中,镀膜之前为何需要预先去除原始氧化层?
答:预先去除原始氧化层,让金属层之间电阻不会过大以及增加膜与衬底的结合力.
PVD制程中,为何使用DC power ?
答:使用DC power,再加上通一定的ya气 (Ar gas),在真空室就会形成等离子体(电浆)。离子体中的离子撞击TARGET,将TARGET的原子打下落在wafer上而形成金属film。
为何机台必须使用冷却水?
答:控制温度,以防温度太高,造成机台破坏
阴极电弧是PVD涂层技术领域中功能较多的沉积方式之一。选用电弧蒸发使大面积固态靶材高度蒸发离化,在可控的方式下与通入的反应气体结合,沉积成氮化钛TiN、碳氮化钛TiCN、氮铝化钛AlTiN、氮化铬CrN等不同的膜层。PVD涂层技术工艺用于大量五金、塑料、压铸模具,刀工具和精密部件的涂层。
PVD涂层的表面就是一层很薄的(1~10µm)金属陶瓷涂层,它具体是提升表面层强度,提高表面层耐磨性能,主要是针对平行的摩擦,因此基体的强度是十分关键的。冲压模具对气温规定是55℃以上,塑胶模具对温度的规定为30℃以上。假如冲压模具的强度达不到HRc60以上,基体就仿佛“豆腐”一样,马上会造成塑性变型。为此,不会由于运用了涂层,就会减少了基体的强度。
提高镀层的抗变色功用。例如,四是经过钝化、关闭处置。锌镀层的赤色钝化工艺的抗蚀性较差,钝化后对钝化膜再做一次关闭处理,其抗变色性可明显提高。再如,把铜镀层浸渍在含有苯并三氮哇的溶液中,由于外表构成了吸附膜,镀层的抗变色才干即有所提高。
为防变色处置工艺都有严峻的工艺方法和规范,许多镀种中。只要严峻履行,才调到达防变色目的当然,各个镀层变色起因不同,防变色的方法和方法也不尽相同。
但实际上这三种金仍是存在铜含量的差别---含铜越多,真空电镀玫瑰金的纯度:尽管赤色金、玫瑰金、粉色金的称谓可以相互换用。其赤色越重。由于纯金是金黄色,纯铜是玫瑰赤色。稀有的玫瑰金是一种含金量75%18K金。由于玫瑰金是一种黄金合金,所以所谓的纯玫瑰金”说法是不正确的含金量的玫瑰金是一种被称为“皇冠金(crowngold22K金,这是一种铸币用金。18K红金可由25%铜和75%黄金熔炼而成。
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