真空泵维修应经带保持清洁,真空泵上不得放置其它物件,
注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换,
应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵,每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中,真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化,影晌真空泵的性能,因此,需要根据具体情况定期换油。
工作环境更好,环境影响低:
安静运转
操作简单:
智能且易于使用控制
无污染且不需要处理油:
采用密封结构,实现了无润滑剂真空环境
低拥有 成本:
长维修间隔和低功耗
更快的制程:
出色的蒸汽处理能力
有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,为了节约成本就会拿去维修,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以,原因也是一样的,只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是:油雾分离器(排气滤芯)和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换!油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2:紧凑型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便,适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间,同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用, 可提高处理能力,同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP? 相比,速度 提高 50%,能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
我们这里提到的真空泵维修是指真空泵腐蚀的维修。真空泵维修的方法之一就是在真空泵表层涂上有机涂层,该方法非常有效。
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iGX 干泵真空系统
iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准;这 使其成为了世界上受欢迎的干泵之一,目前已在大多数 的 300mm 工厂中安装了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接,允许通过网页查看 主要数据,同时包括一套的网络选项, 可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围 很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项,包括工具上、近程和远程操作。
通过使用 iGX 干泵技术, 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 (与 iL/iH 干泵相比)。
基于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。
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