光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领1先地位。
第三代:低温等离子技术
主要原理是,通过给气体外加电压至气体的放电电压,使气体被击穿,产生各种强氧化性的低温等离子。
空气净化工程在提高产品质量等方面有很明显的效果,据国外文献的报导,对于半导体在10000级和l00级洁净室中制造的产品通过耐压试验,在l00级洁净室和外大气环境中进行晶体管涂布扩散,100级洁净室中产品的性能分布集中,而且峰值出现在更的地方。而在大气环境中的产品的性能极为分散,性能也极不稳定。可以看出,①有无空气净化,产品成品率有很大差别,②为了提高产品质量,不仅生产产品的环境需要洁净,而且其关键的原材料、配料的生产也应在洁净环境中进行。
净化工程它是一个整体,对于其中的每个环节都要细致检查,只有做好每一个细节,才能让整个系统完善,发挥1大的价值。因此,大家要知道净化工程的设计既要满足工艺的条件,又要结合土建的安排,房间能不暴露的物体尽量都不要暴露,而暴露的物体要做到尽可能的光滑,便于清洗,因此比如说通风管道和电缆等尽量设在吊顶里面。
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