-微影技术
微影技术透过紫外光当光源,将绘制在光罩上的电路图形微缩投影至涂布光阻的利成上,再经过曝光显影蚀刻去除光阻等过程,在利成产生集成电路。随着制程微缩线宽缩小,光罩也变得更为精细,光源波长也需变短,以避免绕射效应产生。
过去紫外光波长一路从365nm进展到目前以ArF气体雷射达到193nm,ArF 193nm曝光机原理上可制作的小线宽为48nm,加上浸润式微影与多重曝光的搭配,众利成代工厂的制程辛苦走到7nm节点,采用多重曝光技术仅能做单一方向微缩,无法做2个方向的微缩,影响单位面积下所能容纳的晶体管数量,加以所需光罩数与制程数大幅增加,以往随着制程微缩,每芯片成本随之下降情况已不复见。因此,载体为调色剂稳定地提供电荷,以使得可以通过调色剂层来涂敷显影辊,而没有输出图像浓度的降低或调色剂的分散。
东莞市清溪利成感光五金厂本厂主要做曝光显影工艺,平面、圆弧面、凹凸面、喷砂1氧2氧阳极、五金丝印.五金腐蚀等产品加工,有多年经验,有需要以上的工艺欢迎您的到来参观和洽谈,可免费打。
显影的主要过程如下:对准曝光一曝光后烘一显影一坚膜一显影检测。
显影( develop)
PEB之后,硅片冷却至239℃左右,与显影液温度相同,并与显影液发生化学反应。
一般来说,显影过程中被曝光和未曝光部分的光刻胶都会与光刻胶发生反应,因此,为得到良好的显影效果,可以通过改变显影液成分,显影温度,显影方式,与显影步骤等因素来加快曝光与为曝光部分光刻胶的溶解速率。
若对显影的要求不高,可以直接将硅片放入显影液槽中浸泡然后取出。对于大部分对显影要求较高的生产及实验过程,通常使用的匀胶显影机来自动控制显影过程,如图3回x回 e
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蚀刻加工中,显影工作非常重要,它是确定产品外形精度的决定因素,若曝光不到位,产品就不能得到设计的形状,影响产品的功能与性能。改善零件的机械性能,机械零件经喷砂后,能在零件表面产生均匀细微的凹凸面,使润滑油得到存储,从而使润滑条件改善,并减少噪声提高机械使用寿命。因此需要选择合适的曝光机来进行加工,深圳鑫海森自成立以来,主要专注于精密蚀刻加工的生产,更多的是外贸业务,金属蚀刻加工产品质量要求较高,因此鑫海森购入国外进口曝光机及自动化蚀刻加工设备6条,为客户提供更好的加工质量,满足客户各批量精密零件蚀刻加工需求。
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在金属蚀刻加工过程中,其中有曝光显影的部分,将需要蚀刻与不需要蚀刻图案在材料上区分开来,那么怎么准备曝光显影图案呢?其实是通过制作菲林,通过菲林上制作的图案,进行曝光显影后将蚀刻与非蚀刻部分区分开来。
胶印菲林
胶印的印版应该是正字,印到胶布上的是反字,后再转印到金属材料或其它介质上的时候呈现出的是正图文。
大家知道,印版的图文是用菲林片经过晒版工艺得到的,菲林有一定的厚度,为了尽可能地让图案与材料充分接触,菲林的图文晒版时应该在下方,同时在上方观察的效果应该是正图文,只有这样才能保证药膜与材料的零距离接触。如不锈钢工件、塑胶的打磨,玉器的磨光,木制家具表面亚光化,磨砂玻璃表面的花纹图案,以及布料表面的毛化加工等。(因为菲林具有厚度,如果药膜与材料之间间隔一层透明膜,晒版时光线会发生折射,印版经曝光的得到图案损失变形,会影响效果。)
所以拿胶印菲林,阅读内容时,其药膜应该是在反面的,因此,通常称药膜朝下或反图文,也就是说,如果药膜在上面的话,我们看到的内容应该是反图文,即镜像效果。
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