无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
我国的洁净室工程开始于20世纪60年代初,在70年代电子工业洁净室特别是半导体集成电路用洁净室的规划、建造开展很快,相继建成一批洁净厂房,并研制成功100级单向流洁净室;与此同时,洁净厂房用设备和资料,如过滤器,洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功,并投入出产,虽然制作质量和某些工程指标与世界水平尚有差距,但已能满足国内部分需求,到20世纪70年代末我国洁净室规划、建造和洁净工程的开展走向成熟阶段。
无尘车间净化工程该如何选择与维护保养呢?
1.应提升留意房间内的温度湿度操纵,防止因环境湿度的不善导致冷凝水锈蚀。
2.当设备检修易造成微尘物体,故检修时尽可能于清理户外开展,并加护栏网防护。
3.针对工程施工或检修的生产商,应告之出入无尘车间的工作纪律要求,且承担技术工程师应随侍在侧现场监工。
4.需有无无尘车间常用工具组,但不可弄出无尘车间外应用。
5.设计室内空间时若能邻近无尘车间开设一间检修和设备维修手册放置室,将是一理想化的设计。
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