氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;
为了避免事故的发生,化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,无毒,不腐蚀零件;使用氦气喷在管道密封接头,焊缝处喷氦,如果被检管道某处有泄漏,当氦喷到漏孔上时,氦气会立刻被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室内,氦质谱检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。
氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器,它性能稳定,灵敏度高,是真空检漏技术中较成熟的设备,使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护,氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。氦质谱检漏设备因氦比空气轻,因此要注意检漏的顺序,检查顺序应依照由下而上, 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,无毒,不腐蚀零件;
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