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真空箱式氦检漏设备

适用对各类被检要求气密性漏率的产品（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，向工件内充入规定压力的SF6工作气体。系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。设备适应用电力行业,家用空调，制冷行业，汽车行业，新能源行业的气密性检测、应具有气体充注。大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，操作简便、可靠、安全。

真空箱式氦检漏系统【工作环境】

科创真空——真空箱氦检漏供应商，我们为您带来以下信息。

真空箱式氦检漏系统【工作环境】

工作环境:

1、长×宽×高（设备占地面积约）：依据实物实际面积为准。

2、电源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，约22KW；

3、压缩气源及减压器：0.6～0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气；

4、待检工件要求清洁、干燥。

5、环境温度： 5 ℃ ～ 35 ℃；

6、相对湿度： ≤80%；

7、氦气源及减压器：氦气纯度为 99％。

8、设备应安装在通风良好的厂房内。

半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。

氦质谱检漏仪

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，用这种技术检漏，简便易操作，仪器反映灵敏，精度高，不易受其它气体的干扰，以上列举的方法是检漏技术领域里经常用道的方法，包括了从小件检漏到大件检漏，从确定漏孔检漏到确定漏率检漏，比较的列举了各种检漏方法，相信在工程实际应用中有很好的参考价值。基本技术参数编辑真空箱数量：根据实际需要真空箱容积：根据实际需要示漏氦气压力：根据实际需要耐压试验压力：根据实际需要检漏生产节拍：根据实际需要氦气回收率：≧98%‘’想了解更多关于氦检漏设备的相关资讯，请持续关注本公司。