无尘室门窗缝隙的处理一般来说,无尘室门窗大都共同具有三类构造缝隙。一类是樘的组合拼接和樘与无尘室门洞间的安装缝隙;二类是樘与开启扇之间的搭接缝隙;三类是玻璃或其他芯板的安装缝隙。通常所提的无尘室门的空气泄漏无非是由上述三种缝隙产生的问题。无尘室FFU控制方式:目前FFU一般采用单相多速交流电机、三相多速交流电机和直流电机。
由于控制元件为FFU自带,分布在洁净室吊顶内的各个位置,工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节FFU,控制起来极不方便,而且FFU的风速可调范围有限,于几档。采用多档开关控制方式优点是控制简单、成本低,但存在许多缺陷,比如能耗大、不能平滑调速、没有反馈信号、不能实现灵活的组群1控制等。比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。
无尘室使用FFU的注意事项:利用FFU解决净化工程存在的问题,利用FFU可以节省空间,解决无尘室吊顶顶端维修空间狭小的问题。由于高1级别的无尘室(如百级间)需要百级甚至十级层流罩用以解决工艺需求,洁净室吊顶上部将设立一个个巨大的送风静压箱,静压箱内设立通风机,这些静压箱连同送风管、回风管占据了很大的空间,使得维修空间变的狭小,有时甚至影响消防通道的使用。连续速度调节控制:此系统连续速度调节控制与多档开关控制方式相比,多了一个连续速度调节器,使FFU风机转速连续可调,但同时也牺牲了电机效率,使其能耗比多档开关控制方式还要高。
由于无尘室的平面和空间布置特殊,在进行各项技术设施的系统设计、设备配置时应特别注意按规定选用符合要求的系统和设备。为确保无尘室工程洁净厂房的正常生产和工作,应设置一套较完整的自控装置,实现以下功能:洁净室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节、高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测、气体纯度、纯水水质的监测等。无尘室门窗上的缝隙分为固定缝隙和活动缝隙。性质不同在无尘室门、窗上所占比例也不同。无尘室门、窗密闭采取的气密措施也不完全相同。
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