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真空泵的作用是制造真空，其结构形式多样，有离心式、膜片（隔膜）式、活塞式、液环式、旋片式、射流式。真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵，其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

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一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了