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零件加工精度以纳米，甚至之后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，零件切削加工方法已不能适应，需要借助特种零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超过原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超加工的目的。属于这类加工的有用械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
精密机械加工的处理办法以及有哪些方法<一>、精密机械加工件的处理办法
1.为了保护精密机械加工精度。大量工件受到切削力、夹紧力大、发热量多，应分别进行粗加工和精加工。由于粗加工时。容易造成表面硬化，工件内部有很大的内应力，如果精加工和粗加工是连续的精加工后精密零件的精度会随着应力重新分布，很快就会失去。对于某些具有高加工精度的零件。粗加工之后和精加工之前应进行低温退火或时效处理来去除内应力。
2.粗加工的主要工序是切断大部分加工余量，粗加工机床只需要高功率、低精度加工。精加工需要精密的机床。不同的机床上进行粗、精加工，不要求高的加工精度。因此。不仅可以充分发挥设备的性能，而且可以延长精密机床的使用寿命。
3.精密机械加工件过程中经常需要热处理。热处理工序的安排如下：为了提高金属的切削性能。通常在精密机械加工件前进行。为了去除内应力，如退火、正火、调质等。如时效处理和调质处理等，一般在粗加工之后，精加工之前进行。为了提高零件的机械性能，渗碳、淬火、回火等，一般经过精密机械加工件后才进行。如果热处理后有变形，就安排较终加工工序。
<二>、高精密产品零部件加工都有哪些方法
硬质合金零件加工过程中，经常会遇到需要进行深孔加工的零件，常见的三种深孔零件加工的方法都是怎么样的吧？
精密零部件定制的时候，因为刀柄受到孔径跟孔深的限制，这便需要刀柄需要细长，但是细长刀柄会造成其刚性差，车削的时候容易产生振动跟让刀的现象，因为孔深，钻削过程中，钻头容易引偏而导致孔轴线偏置，因为孔深的原因，切削液不容易排除，切削液难于的冷却到切削区域，并且刀具在深孔内切削，刀具的磨损跟刀体的损伤等情况都没法观察，让加工的品质得不到保障。
目前常见的深孔加工方式主要有以下几种：
先，孔钻跟外排屑
在精密零部件定制中，对于直径比较小的深孔时，一般都采用孔钻，孔钻使用高速钢或者硬质合金刀头跟无缝钢管刀柄焊接而成，刀柄上压有V型槽作为切屑排除的通道，腰形孔是切削液的出口处；
其次，高压内排屑钻
高压内排屑钻是由高压大流量的切削液从封油头经过深孔钻跟孔壁之间的空隙进入切削区域，切屑在高压切削液的冲刷下从排屑外套管的中间排除，采用这种方式，因为排屑外套杆内没有压力差，因此需要有比较高的压力的切削液将切屑从且小区经过排屑外套杆内孔排出；
然后是喷吸钻跟内排屑
喷吸钻外形的切削刃交错分布于高精密产品零部件加工钻头的两侧，颈部有喷射切削液的小孔，前端有两个喇叭形孔，排屑再从小孔喷射出高压切削液的压力作用下，从两个喇叭形孔冲入并吸出空心刀杆向外排出。
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