金华无尘室设备定位安装方案诚信企业「卓宇泰」齐白石的资料

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

气流是控制洁净度与温湿度的主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速测量，都是放在无尘室测试的步。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。除非得到管理人员的特别许可，否则，在洁净室里，衣服口袋只能是空的。在某些场合可能因现场的限制，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。

无尘室内防止微粒子污染的基本原则：

不发生

在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策：

减少接触剥离发尘的动作形态；

采用磨耗发尘小的材质；

采用发尘小的润滑油；

机台应用空压浮上的非接触化工作原理。