真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。
对于真空泵维修过程中，也只有掌握了这种工作原理之后才能够更好的对爱德华品牌的真空泵进行正确的修理，在维修的过程中我们需要了解爱德华真空泵由两个工作室组成，在工作中两室会前后串联，而偏心转子带动其上的旋片在各自腔室内同向等速旋转。
真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，温度不得超过80C 。如发现真空泵有异常声音应立即停机检查原因。真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。
真空泵在工作1个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。