操作步骤
第yi步：将待处理的PDMS芯片表面处理干净，一片PDMS放置在镜面载盘上，另外一片放置在透明玻璃上。
第二步：将镜面载盘放置在下zai物台上，将透明玻璃放置在上载物台上，并用两测压块进行固定，调整位移平台Z轴方向，使上下两片PDMS间距适当，但不接触。
顶旭（苏州）微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。
等离子键合机操作与使用
机器初始安装步骤
1、连接好等离子清洗机与真空泵之间的真空管路,紧固好O型卡和锁紧帽,做到连接处密封且不漏气。
2、接通供电电源和真空泵电源,在此之前检查所有按钮必须处于复位状态,同时检查所供电源插座的L、N、E的接线是否与机箱后的AC220V输入插头相一致，以免发生危险动作。
机器初始安装步骤
1.第yi次开机抽真空时间应持续3-5分钟且不做其他操作，目的是去潮除湿，同时检查是否有漏气部位：听漏气声响；看真空泵软管接口气泡；检查仓门是否接触良好，可进入主控画面确定；检查真空泵油位是否正常（油位观察处2/3为正常）若无上述状况即为正常，或观察真空表数字是否达到100（根据地区环境不同有差异）。
2、完成上述步骤后，关闭真空泵，按下红色按钮，回气使仓体恢复常压。打开仓门，送入托载盘，做好常规使用的准备。
等离子体注意事项
1.当主机与真空泵连接好后，尽量不要移动位置，以避免真空管路松弛泄漏，导致真空度下降，真空管路的轻微泄漏会大大延长真空泵的抽取时间。
2.环境温度过高或使用时间过长时，温度保护控制可能会切断射频电源，此时应停止处理操作，但不要关断设备电源，因风扇的运转会加速设备的冷却。
3.由于等离子射频电源的特殊性，在接入~220V电源时，一定要按所配接电源线插头的标志正确接入：即所提供的电源与三角插头的接线标志要准确对应（L、N、E）,否则会造成设备不能正常工作。
4.感应舱门没有关好，感应不到位，导致抽真空出不上去，确认门是否合上。