深冷空分制氮是一种传统的制氮方法，已有近几十年的历史。它是以空气为原料，经过压缩、净化，再利用热交换使空气液化成为液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸点不同(在1大气压下，前者的沸点为-183℃，后者的为-196℃)，通过液空的精馏，使它们分离来获得氮气。深冷空分制氮设备复杂、占地面积大，基建费用较高，设备一次性投资较多，运行成本较高，产气慢(12～24h），安装要求高、周期较长。综合设备、安装及基建诸因素，3500Nm3/h以下的设备，相同规格的PSA装置的投资规模要比深冷空分装置低20%～50%。深冷空分制氮装置宜于大规模工业制氮，而中、小规模制氮就显得不经济。9%半导体硅职业运用半导体和集成电路制作进程的气氛维护，清洁，化学品收回等。
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制氮机是选用物理的办法，以空气为质料将其间的氧和氮别离而取得氮气。运用碳分子筛对氧和氮的选择性吸附而使氮和氧别离的办法，通称PSA制氮。 此法是七十年代敏捷发展起来的一种新的制氮技能。与传统制氮法比较，它具有工艺流程简略、自动化程度高、产气快、能耗低，商品纯度可在较大范围内依据用户需求进行调理，操作保护便利、运转本钱较低、设备适应性较强等特色。而区分氧和氮是靠两者被吸附的速度差，通过控制吸附时间来实现的，将时间控制的很短，氧已充分吸附，而氮还未来得及吸附，就停止了吸附过程。
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psa制氮机是根据变压吸附的技术（PSA），利用的碳分子筛为吸附剂直接从压缩空气中分离氧气提取氮气的。经过净化干燥的压缩空气，在压力作用下，利用氧在碳分子筛微孔中扩散吸附速率远大于氮在碳分子筛微孔中的扩散吸附速率这一特征，在吸附未达到平衡时，氮在气相中被富集起来，形成成品氮气。PSA变压吸附制氮原理碳分子筛可以同时吸附空气中的氧和氮，其吸附量也随着压力的升高而升高，而且在同一压力下氧和氮的平衡吸附量无明显的差异。