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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。
真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。
密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。
石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。
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2.1 O形密封圈
O形密封圈简称O形圈、工程机械用液压元件及液压系统中 常用的是橡胶O形圈。它成本低廉，密封性好，使用范围宽。例如，工作压力以1.333×10-5到400MPa，温度从-60℃到200℃。
实践证明，O形橡胶圈有如下优点：密封部位结构简单，安装部位紧凑，质量轻;有自封作用，往往只用一个密封件便能完成密封;密封效果好——用于静密封时几乎可以实现‘零泄漏’，用于往复运动密封时其密封性能不变、介质泄漏量甚少;运动阻力很小，对压力交变的工作条件适应性好;O形密封圈尺寸及安装沟槽(形状、尺寸、技术要求等)已标准化，便于采购、安装和维修。由于镀层材料与基体材料二者线胀速率不同，所以温度升高时，环表面会出现裂纹，司太立特合金尤为严重。
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需要注意的是渣浆泵机械密封的适用范围温度在-20℃—150℃之间;适用压力≤ 2.4MPa;渣浆泵机械密封的安装方法如下。
首要检查进行安装的机械密封的型号、规格是否无误。
继而检查渣浆泵与机械密封的安装相关联部位的尺寸精度、几何精度和相互关系是否符合技术要求。主要有以下几个方面：安装机械密封部位的轴(或轴套)的径向跳动允差，轴(或轴套)的表面光洁度和外径尺寸公差。密封腔和压盖结合定位端面对轴(或轴套)中心线垂直度允差。安装动环密封圈的轴(或轴套)的端部，安装机械密封的壳体孔的端部结构之倒角和光洁度。机械密封之转轴工作时的轴向位移量。装有机械密封的泵和机械密封备件长期不使用时，机械密封部分应加注满N46号机械油，以防止机械密封部件生锈及内部橡胶件失效。