真空镀膜机具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点，配备 E 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。PID自动控温，具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。E 型电子束蒸发、电阻热蒸发源组件（可选配）、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构，膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。可选件：膜厚监控仪，恒温制冷水箱。
真空镀膜机器设备的主泵形式分成二种，各自为有油真空泵和无油超滤装置，这二种系统软件的工作中形式全是不一样的；有机油超滤装置基本上是以油扩散泵为主泵，前面泵选用真空泵或是罗茨真空泵。我们知道，油扩散泵的工作压力方向较为大，与此同时抽真空速度十分的高，可以做到每秒钟十几万升。
无油超滤装置是应用分子泵和低温泵做为主泵的，其特性关键集中化在可以持续很多抽真空，能够得到清理无油的极高真空泵。
镀膜机常见故障及处理方法：
一、检测不到掩膜夹具翻转信号：
1、检查翻面信号源位置
2、将翻面输入信号人工短接，使用翻面检测功能，计算机能检测到信号时，证明问题在翻面控制开关上，根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路，然后更换控制卡。
二、掩膜夹具翻转不稳定:
1、检查翻板的初始位置是否符合时机
2、检测翻面控制开关工作是否稳定，可用指针万用表跟踪监测。
3、检查翻转机构动作是否灵活可靠
4、检查翻面信号次数设置
5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有摩擦现象
6、检测旋转工作台在转动时的稳定性